解決

1839年には早くも、フランスの科学者ベクレルが、光が半導体材料の異なる部分間に電位差を生み出すことを発見した。この現象は後に「光起電力効果」と呼ばれるようになった。1954年、米国は実用的な単結晶シリコン太陽電池を初めて開発し、太陽光を電気エネルギーに変換する実用的な太陽光発電技術が誕生した。

太陽光発電技術の安全性、信頼性、高エネルギー品質のおかげで、太陽光発電設備業界は2024年に8億8700万キロワットの設備容量を達成し、これは我が国の総設備容量の約26.3%を占めています。太陽光発電設備の長期運転中、シリコンウェハの表面にスラリー堆積物が蓄積することがあります。人為的ミスによるシリコンウェハの損傷を軽減するために、脱ガムとウェハ洗浄を統合した機械がこの問題を解決できます。

プロセスフロー

① 前処理洗浄および脱ガム工程の流れ：

     シリコンウェハーは、表面に付着したモルタル、シリコン粉末、金属粉末などの不純物の大部分を除去するためにスプレー処理されます。その後、脱ガム槽に入れられ、脱ガム処理が行われます。最後に、高温乳酸軟化接着剤を用いた脱ガム処理によって、シリコンウェハーと基板が分離されます。

    ② 刃の洗浄工程

このプロセスでは、水流を用いてウェーハを分離し、ウェーハをバスケットに供給した後、特定の温度でアルカリ性および酸性の試薬と超音波を併用して、有機物、微粒子、金属イオンなどの不純物をウェーハ表面から除去することで、ウェーハの剥離、挿入、洗浄を一体的に実現します。

解決

太陽光発電パネルの剥離・洗浄工程は比較的長く、制御が必要な入出力点が多数あり、信号も分散しています。こうした実情を踏まえ、お客様はネットワークケーブルで拡張モジュールを接続する当社のAU7 500Eシリーズソリューションをお選びになりました。

適用効果

生産コストを削減する

       AU7 500Eシリーズのモジュールは長距離にわたって設置できるため、顧客はそれぞれのワークステーションの電気キャビネットに簡単に設置でき、電気工事士の配線コストを削減できます。

AU7 500Eシリーズモジュールは、各拡張モジュールの状態をホストに送信します。バスエラーや電源障害が発生した場合、モジュールの状態に基づいて問題を分析できるため、トラブルシューティングとダウンタイムを削減できます。